ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
| Статус: | Действует |
| Дата введения: | 01.01.1986 |
| Дата отмены: | - |
| Заменен на: | - |
| Код ОКС: | 29.045 |
| Скачать (PDF): | ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния |